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日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標準型

日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標準型

產(chǎn)品型號：

所屬分類：隔震臺

產(chǎn)品時間：2024-09-08

簡要描述：日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標準型
配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動。
高速計算由我們獨chuang的主動隔振算法執(zhí)行，而振動立即由高精度大功率執(zhí)行器消除。

詳細說明：

日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標準型

配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動。

高速計算由我們獨chuang的主動隔振算法執(zhí)行，而振動立即由高精度大功率執(zhí)行器消除。

我們地板側(cè)慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器，并通過前饋控制實現(xiàn)了世界z高水平的隔振性能。

在保持高性能且高精度的隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時，還可以在短時間內(nèi)同時衰減由安裝臺的激振力施加的振動。

配備舞臺前饋功能和波形顯示軟件作為標準設(shè)備。

特點

  • 振動傳遞特性無共振。實現(xiàn)從低頻到高頻的超寬帶隔振。
  • 具有6個自由度的高精度位置控制始終可實現(xiàn)穩(wěn)定的隔振性能和位置精度。
  • 可以選擇具有高響應(yīng)速度的大流量閥，以應(yīng)對較大的移動負載。
  • 安全可靠的設(shè)計與CE標記兼容。（控制器SAC-07）
  • 標配臺前饋功能和振動波形顯示分析軟件。

用途

  • 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中，它被用作對付需要精細處理的晶片上的振動的對策，并且被用作對付晶片移動臺上的振動的對策。
  • 在液晶制造和檢查設(shè)備中，其目的是在龍門架或工作臺顯著移動時快速衰減振動，并立即對其進行檢查或糾正，這有助于縮短節(jié)拍時間。
  • 在超精密機床中，它用于消除工作臺上的振動以進行精密加工，同時支持大載荷的運動。

日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標準型

規(guī)范

模型可安裝質(zhì)量（1個單位）尺寸（1個單位）
VAAV-550A270-900公斤215（寬）x 160（深）x 170（高）毫米
VAAV-1000A500-1700公斤225（寬）x 210（深）x 170（高）毫米
VAAV-2200A1100-3700公斤280（寬）x 240（深）x 208（高）mm
VAAV-4000A2100-7000公斤330（W）x 270（D）x 208（H）毫米
VAAV-10000A5000-17000公斤465（寬）x 400（深）x 240（高）mm
VAAV-20000A11400-38000公斤600（W）x 600（D）x 284（H）毫米
VAAV-30000A15000-50000公斤700（W）x 700（D）x 182（H）毫米
HA-450水平執(zhí)行器480（寬）x 365（深）x 405（高）毫米
 


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