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適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計AFW-100W原理分析

發布時間:2024-11-25 點擊量:126

適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計AFW-100W原理分析


這是配備光譜儀的標準型號,非常適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計。可以進行非接觸式測量,因此您不必注意涂層工作表面。

它涵蓋了廣泛的測量波長和可測量的薄膜厚度。

可測量波長:380nm~1050nm
可測量膜厚:100nm~60μm

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反射分光膜厚計AFW-100W


反射分光式膜厚計測量原理

當光線照射在透明薄膜上時,在薄膜表面反射的光(R1)與在薄膜內部折射并在基材表面反射的光(R2)重疊,導致光線增強或減弱。

這種現象稱為“光干涉" 。當光的相位匹配時,強度增加,而當相位偏移時,強度減小。

右圖是“光干涉"的圖像。 “反射分光膜厚計"是通過分析該光的干涉(波長)來測量膜厚的方法。

反射光譜膜厚測量原理


計算理論

C/F(曲線擬合)

求使測量反射率與理論反射率之差的平方最小的膜厚值。

推薦在波紋數為3個以下時使用(膜厚約1μm)。

FFT(快速傅里葉變換)

通過FFT計算確定某一波長寬度內表示膜厚的干涉波形的數量,并由此導出一個周期的波長寬度。

建議在有3個或更多波紋時使用(膜厚約1μm)。

模型AFW-100W
目的一般膜厚用
設備配置單元主體、測量臺、分支光纖(1.5m)、PC、膜厚測量樣品
測量波長范圍380nm~1050nm
膜厚測量范圍100nm至1μm(曲線擬合法)
1μm~60μm(FFT法)
測量重復性0.2%至1%(取決于膜質量)
測量光斑直徑約7毫米
光源12V-50W 鹵素燈
測量理論曲線擬合法/FFT法
外形尺寸(毫米)機身:W230 x D230 x H135
測量臺:W150 x D150 x H115
大約重量5.5kg *不包括電腦
公用事業交流100V 50/60Hz
消耗品鹵素燈