日本ata Gimble 多涂機 AT-903涂層示例分析

涂層示例

◆ 萬向節效果

在萬向機操作下，在凹凸不平的樣品表面涂上一層均勻的薄膜
（見下圖，濾紙表面SEM照片）。

放大倍率 x 50,000 倍

云臺運動視頻

◆ 與其他公司的顆粒性能比較（樣品：載玻片放大倍數：×100,000）

（其他公司）

(ATA)

◆ 涂膜顆粒度差異示例（AFM 圖像）

膜厚 10nm 玻璃基板鍍鉻膜

膜厚 9nm 玻璃基板上的鉑膜

可以看出，Cr非晶膜和鉑再結晶膜形成良好。

頭型（可選）

1頭型

2頭型

清潔（可選）

清潔機制

特征

<選項>

等離子清洗（主機選件）可去除有機異物并進行表面親水化處理，
碳涂層附件（選件）可用于形成碳膜（目前正在建設中）。